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光学薄膜制备用的多离子束电子束系统
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《电工电能新技术》1997年 第3期16卷 26-29页
作者：冯毓材 李哓谦 尢大纬 况元珠 王宇中国科学院空间科学与应用研究中心 
本文介绍一种新型的光学薄膜制备用多离子束电子束系统。该系统既可采用聚焦离子束溅射沉积，也可采用传统的电子束蒸发沉积薄膜，并辅助以低能离子轰击，离子可以是惰性元素也可以是反应气体离子。系统的特征是：任何与真空相容的材料...
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