摘要：针对干式涡旋真空泵的振动平衡问题,对其工作原理、机械动力学模型、渐开线型线的理论偏心等方面进行了分析。提出相应动平衡设计方法并对核心部件进行三维建模:其中包括动涡旋盘的质心调整,扇叶上下两个扇区厚度差异设计。通过Fluent对涡旋盘进行空气动力学的仿真,设计专用夹具及配重块并进行实验验证,以确定整套的平衡工艺方法。研究结果表明:整机动平衡精度可达0.2 g以下,振动数值由10降到1 mm/s左右,平均用时15 min,减振效果显著,生产效率得到极大提高。

摘要：全球半导体、薄膜等新兴行业的生产制造要求对真空泵的结构设计和优化提出了新的要求与挑战。以高度集成、高效节能、简洁紧凑为代表的创新设计理念取代传统设计要求,是目前真空干泵产品设计的主要趋势。本文提出了一种以多腔式涡旋结构为代表的新型结构,与传统涡旋真空泵结构不同,通过多涡旋的集成创新设计,得到多腔涡旋优化结构,具有高集成性和紧凑性的特点。论文以并联式涡旋盘结构展开讨论,基于涡旋啮合原理,分别建立了各涡旋转子的型线方程,通过分析抽气理论数学模型,对比了相同尺寸下,新型多腔结构与传统单腔结构的抽速、热变形、气体载荷分布等性能参数。以四腔结构为例,计算和分析结果表明,并联式新型多腔涡旋结构在提高抽速和获得均匀的气体载荷分布方面有明显的优势,在相同的外形参数下,抽速提高了48.95%,密封线长度减小了41.62%,且在相同的进排气口压强下,四腔涡旋盘最大变形量仅为单腔结构的51.22%。