摘要：主驱动密封作为盾构机刀盘驱动的核心部件,其仍然长期依赖进口,这使得国产盾构机驱动的设计一直处于被动地位。为了推动刀盘驱动密封的国产化,打破盾构机关键部件的进口垄断,本文对驱动密封试验平台研发进行阐述,验证国产驱动密封的耐压性能、可靠性和稳定性,以期可为国产驱动密封的应用提供数据支撑。结果表明:试验平台能满足目前市场上多翅型密封及VD型密封两种主流密封形式在高工作压力下的试验需求,研制的密封圈在1 MPa工作压力下密封性能良好,其性能达到预期的效果。

摘要：提出了一种新型的二维扫描式水下电视系统.该系统可以进行水平360°,垂直90°全方位扫描,不存在死角.在船上或岸上使用水下控制系统,可以对系统实施远程控制,通过该系统可以对水中运动目标进行跟踪监视,最大工作深度可达水下100m.

摘要：由于受到水下环境的限制,水下电视系统一般不能实现全方位扫描。提出了一种新型的二维扫描式实时控制方案,并详细阐述了系统组成结构、软硬件设计。在船上或岸上使用该控制系统,可以对水下电视系统实施远程控制,并可以对水中运动目标进行水平360度,垂直90度的全方位扫描,不存在死角。

摘要：基于硅压阻效应原理,单片集成三轴加速度传感器通过双惯性质量块和六梁结构组成敏感结构,其中四个L型梁对称布置用来测量x和y轴加速度;中间的对称双梁测量z轴加速度。通过工艺兼容技术,在同一芯片上制作出MEMS敏感结构和CMOS信号处理电路。利用ANSYS软件对所设计的结构进行了应力模拟分析,并对产品的加工工艺进行了描述。通过对研制出的单片集成三轴加速度传感器进行性能测试,验证了模拟分析的合理性,最终产品满足设计要求。所研制的产品具有体积小、可靠性高、易于批量生产等优点,可广泛应用于导航系统、汽车工业以及消费电子产品等领域。

摘要：为解决上海长江隧道超大型盾构的壳体金加工难题,自行研制了大型盾构专用车镗铣设备。介绍了该设备的研制要求、设计方案、主要部件的结构、设备制造安装精度控制措施和实际应用效果。该设备的研制成功,为我国盾构掘进机产业化提供了大型金加工设备。

摘要：将铂膜温度芯片和SOI压力芯片近距离装配在充油芯体内，进行真空充油后，温度和压力传感器芯片同时被硅油保护起来，再通过波纹膜膜片感受压力。由于温度芯片和压力芯片距离非常近，可以同时感受较小局部区域的温度信号和压力信号，解决了同时测量同一区域压力和温度信号的技术难题，同时对压力传感的温度补偿具有很好的效果。对所研制的充油式温度压力复合传感器进行了性能测试，结果表明，测试结果与设计相符，其中温度传感器的允差为A级，压力传感器的非线性优于0．2％FS，压力测量范围为0～75MPa，工作温度范围为-50～175℃。

摘要：本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术,主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计,引线电极保护技术,TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形,能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题,讨论了湿法加工技术中引线电极的保护方法,包括TMAH腐蚀技术的应用。制作出的加速度传感器芯片灵敏度大于0.1mV/g,非线性优于1%,横向灵敏度比小于3%。

摘要：研究了一种新型微机电系统(MEMS)加速度计,利用双面四端固支的三维对称结构从根本上消除了横向干扰。基于工程力学原理建立了双面四端固支结构的解析模型,分析了该结构的灵敏度、频率响应、横向灵敏度等主要性能。通过有限元仿真,优化了敏感结构的尺寸。该敏感结构设计量程20×10^4 g n,灵敏度大于0.8μV/g n/10VDC,横向灵敏度比小于1%,谐振频率大于613 kHz,满足工程应用要求。提出了基于体硅MEMS技术的制作工艺方案。