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一种可自动检测宏观缺陷的AOI设备设计探究
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《科技创新与应用》2022年 第7期12卷 1-3页
作者:毛继禹 曹斌 薛凤明 刘滋旺 徐铮北京京东方显示技术有限公司北京100176 
目前,TFT-LCD行业CF基板的微观缺陷主要依靠AOI设备进行。AOI的原理是通过五点比对法自动对微观缺陷进行锁定;而基板的宏观品质主要依靠Mura设备进行。Mura设备原理是通过钠灯照射,CCD生成精度较低的基板灰度图像,由作业人员人眼进行缺...
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