摘要：针对小型化惯性测量单元对加速度计的集成需求,设计了一种基于腔光力学原理的推挽式拉链腔型声光子晶体加速度计。加速度计采用铌酸锂单晶薄膜材料,将MMI耦合器、相位调制器、声光子晶体拉链腔等结构实现单片集成,同时推挽结构消除了旁轴加速度带来的误差。所提出的加速度计基于仿真结果功能特性如下:带宽大于20 kHz,噪声等效加速度10.2μg/√Hz,通过增大测试质量至10^(-9) kg可以将分辨率提升至10^(-7) g/√Hz量级,采用闭环调频反馈,可扩展线性测量范围至±80 g。同时实现大带宽、高分辨率与大量程的加速度计传感。加速度计适配激光光源,未来可与谐振式光学陀螺集成应用于惯性导航系统。

摘要：基于铌酸锂薄膜提出了一种新型的低损耗切趾光栅设计方案,在线性改变填充因子的同时根据布拉格条件对每个光栅周期进行调控。此方案不仅提高了向上衍射效率,还增加了向上衍射模斑和单模光纤模斑的重叠积分,极大地提高了耦合效率。1550 nm处对于TE模式耦合效率达到81.3%(0.90 dB),是目前已报道的基于无反射层铌酸锂薄膜的光栅耦合器设计方案中耦合效率最高的。考虑到实际工艺下波导存在刻蚀倾角,基于合理推广的布拉格条件同样对光栅周期进行调控,优化了带刻蚀倾角的切趾耦合光栅,耦合效率高达60.0%(2.22 dB)。