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红外上转换材料测试系统中截止滤光片的研制
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《激光与光电子学进展》2015年 第8期52卷 344-349页
作者:傅晶晶 马恩 林丽君 潘丹梅 卓继炜 苏玉霞中国科学院福建物质结构研究所福建福州350002 龙岩学院福建龙岩364012 
根据红外上转换材料测试实验系统的使用要求,选择Ta2O5和Si O2作为高低折射率膜料,通过椭偏仪测试膜料色散代入膜系软件进行设计优化,采用电子枪蒸镀的物理沉积技术,同时利用霍尔离子源辅助沉积提高膜料折射率,并通过调整工艺参数和改...
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