摘要：相移器是斐索干涉仪的核心部件,其关键为压电陶瓷(PZT)致动器,而其迟滞非线性特性严重影响了相移精度,对光学元件的形貌检测造成不利影响。该文首先设计了PZT的控制系统,利用National Instruments(NI)动态数据采集设备(PCIe-6321)、LabVIEW系统及电压放大器组成电压驱动系统产生驱动信号,利用电阻式应变仪、惠斯通电桥作为位移传感器采集位移;其次,提出了一种多项式模型及基于PZT传递函数的前馈开环校正算法对PZT进行建模及校正;最后,在实验系统上对该算法进行了验证。实验结果表明,校正后,相移器的相移误差可被改善,校正前、后位移差小于10%。该系统可有效校正非线性,从而降低非线性相移对测量结果的影响,满足检测光学元件面形的高精度要求。

摘要：为了减少相移干涉仪中压电陶瓷致动器进行相移时,其迟滞非线性对相移算法中的相位计算带来的误差,设计了一套压电陶瓷致动器的控制系统.利用高精度电阻应变传感器和基于锁相放大原理的信号调理电路检测压电陶瓷致动器位移,建立多项式数学模型描述迟滞非线性,然后提出了一种前馈开环控制方法补偿其迟滞非线性.最后,基于所提出的方案对压电陶瓷致动器进行了期望轨迹的跟踪控制实验,同时将补偿控制系统与干涉仪相结合检测光学元件表面形貌.实验结果表明:补偿后,压电陶瓷致动器的跟踪误差在-0.156μm与+0.078μm之间,迟滞非线性度由10.4%降到2.4%,且干涉仪所测得的光学元件表面面形起伏高度均方根和峰谷分别改变了0.795nm和3.937nm.该系统对于高精度的光学元件形貌检测具有重要的意义.

摘要：针对传统激光干涉仪需要手动调节光学部件问题,设计并开发了一种激光干涉仪无线测控系统,该系统可以无线调节激光干涉仪光学部件的位置。系统采用nRF2401无线射频技术,与传统的nRF2401运用相比,该系统采用奇偶校验和CRC校验的双重校验,提高无线射频传输数据的正确率。同时系统采用闭环控制,提高了激光干涉仪的精确度和稳定性,避免了光学部件的过量调节对激光干涉仪的损伤。

摘要：针对传统激光干涉仪人工手动的光学测量调整装置,存在精度低、难以定量控制的缺点,设计了一种以TI公司的CC2530无线单片机为硬件开发平台,信号采用Basic RF进行无线通信的遥控系统。该系统简单使用一台遥控器,光学测量装置通过机械调整与高精度电机相结合,便可以完成对光学调整装置的遥控控制,能够满足一定距离的无线传输,具有低功耗、低成本、高性能的特点,减少了测量中气流和震动的影响,为在线和自动化测量奠定了基础。

摘要：红松是我国重要的珍贵树种之一,主要分布在东北地区。红松果仁在国内外市场倍受欢迎,具有很高的开发价值。由于红松果仁需求量的不断增加,红松种子遭到掠夺性采集,红松资源不断受到蚕食,红松林越来越少。吉林省中东部人工红松林分多数正值中、壮龄林,选择优良红松林分改建红松母树林,是扩大发展红松资源、改良提高红松遗传品质、加快林区经济发展一项重要措施。

摘要：为了实现波面检定仪无线调节单元的限位功能,采用限位控制系统来限制电机的位置行程,并通过CC2530控制板获取触发限位开关的电压信息以及精密直流电机的限位状态电压信息。实验结果表明,波面检定仪无线调节单元的限位系统可实现对调节单元的限位控制,并获取相应的限位信息,还能使波面检定仪无线调节单元的调节更加准确和有效,从而可实现对样品面形的精确测量。

摘要：基于自主研制高精度数字化相移干涉仪的需求,针对干涉仪的压电陶瓷移相器设计了一种高压放大电路。通过双极性运算放大器OP07构成低噪声,非斩波稳零的低压放大电路与中功率线性三极管MJE340和MJE350构成高压放大电路进行直流耦合,结合反馈网络,功率放大电路,滤波电路以及限流保护电路,将计算机输出的0~5V低电压的移相控制信号稳定线性放大到-30V^+130V范围,且输出低至10mV峰值的纹波,满足压电陶瓷移相器的高压驱动控制要求和相移干涉仪的高精度移相测量的要求。