摘要：匀胶显影设备中温湿度控制器(THS)为单元提供温度和湿度适宜的洁净空气,为保证单元内产生的颗粒不污染晶片,在单元中将空气流动设计成Down Flow形式,这样能带走单元腔室中的灰尘颗粒,有利于防止晶片的颗粒污染。由于显影单元的内部结构复杂,无法直接测量单元内部实际工作条件下的气流状态。文中采用数值模拟分析的方法对显影单元内部进行流场仿真分析,根据分析结果对结构进行优化,以达到更理想的腔室内气体流动状态,可以节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期。

摘要：根据压电效应理论设计出压电式驱动器。驱动器中悬臂梁的宽度、长度以及压电材料与非压电材料的厚度比例对驱动器的输出位移有很大影响。利用MEMS专业有限元分析软件Conventor Ware,对压电式驱动器的各项参数进行分析,并对结构进行优化。

摘要：通过使用ANSYS软件的优化模块,对机器人常见的Y型手指结构进行优化,结果有效地减少了手指端部的下挠度,降低了手指下挠在示教阶段产生的不良影响。