摘要：针对谐振式硅微机械压力传感器输出信号十分微弱、检测难度大的问题,从结构设计的角度分析了相应的解决方法。将对昆虫孔缝结构振动感受器的研究与谐振式微机械压力传感器的设计相结合,提出在谐振敏感结构中引入孔缝结构,通过孔缝应力集中效应提高检测信号的强度,实现传感器检测性能的提高。

摘要：针对水处理工艺流程及控制单元的科研教学演示需求,本文将实现水处理工艺流程的各工艺单元模块放置到水处理厂实景沙盘模型上,并借助于PLC控制单元实现了对整体工艺流程的自动化控制,在此基础上设计并研制的水处理工艺流程科研与教学演示装置可以完整演示水处理工艺的各个流程及控制过程。本文详细介绍了水处理工艺流程及各工艺单元模块的控制,该装置的运行演示结果证明装置可以直观、形象、完整的演示水处理工艺流程及控制功能,达到良好的科研及实验教学效果。

摘要：本文以硅谐振式压力传感器为研究对象,建立了光热激励硅谐振敏感结构的有限元分析模型,通过ANSYS仿真分析研究了硅谐振敏感结构光热激励方式的动态热分布,揭示了光热激励产生的热量在谐振梁厚度方向激励振动的原因,仿真分析获得了光热激励产生的交流热分量在谐振梁不同方向上的温度梯度分布,为光热激励谐振梁敏感结构设计与优化提供了参考。