摘要：微尺度流体的流动仿真分析是微喷管优化设计的基础。采用Navier-Stokes理论对采用微机电系统技术制作的微喷管中的气体流动进行了三维数值分析,建立了微喷管流动的三维数学模型,给出了该模型的求解算法。对不同燃烧室压强和温度下的微喷管内气体流动的计算结果进行了分析,并与二维计算结果进行了比较。结果表明:微喷管内的流动状态没有因压强和温度的变化而发生根本性的改变;在微尺度下,由于附面层效应,采用二维数值计算将高估微喷管的性能。

摘要：在电阻电热式微推进器中,用体硅设计制作了立柱状结构的加热电阻。典型的加热电阻柱横断面积为240μm ×60μm,高度为150μm,沟槽的宽度为50 μm。采用ICP(诱导耦合等离子)工艺制作。利用杂质半导体材料的电阻率随温度的变化特性,在施加恒流源的情况下,可以使加热电阻的工作温度具有自动调节功能,保持在本征温度附近,避免烧毁电阻。理论分析和试验结果证实了这种加热电阻的可行性及其温度自动调节功能。试验测量的 74Ω的加热电阻的本征温度为550 K,与理论预测值相符。

摘要：微型飞行器在低Reynolds数条件下飞行,机动能力不足且稳定性差。为了解决上述问题,设计了一种翼型可变机翼,通过高效紧凑的曲柄滑块驱动机构带动机翼蒙皮,最终牵动整个机翼变形;然后对常规机翼和翼型可变机翼进行了仿真和风洞对比试验。结果表明:这种翼型可变机翼具有与很多常规固定机翼不同的特性,可使升力有很大提高,能增强微型飞行器的机动性并改善失速特性;而且,通过变形,翼型可变机翼可以在不同迎角下获得最优气动效率。

摘要：单晶硅异向化学腐蚀技术是制造三维硅微结构的重要加工手段，已广泛应用于微传感器、微致动器等微机械元件的制作。对该项技术的深入探讨有助于研究单晶硅在异向腐蚀液中各晶面的腐蚀情况，以建立异向腐蚀技术计算机仿真系统，制作出更为复杂精确的微机械结构。仿真系统可以模拟腐蚀工艺过程，预测腐蚀结果，同时可用于工艺设计及掩模图形设计等。

摘要：介绍了一种微小型电磁驱动常闭微流体控制阀的设计和制作方法,该阀采用MEMS工艺与精密加工相结合的方法制作微型阀的核心部件--电磁致动器和阀芯,实现了微小流量控制和结构小型化,并通过实验对微型阀进行了特性测量.该阀具有工作电压小(2～3V)、功耗低、结构尺寸小(体积为3.0cm3)、流量小(0.3MPa时体积流量小于0.23mL/s)等特点.

摘要：微型泵、阀及微量流体控制系统由于其广泛的应用前景，成为微型机械研究中一活跃的分支。本文着重介绍微型泵、阀的研究现状，论述微型泵、阀的结构设计，致动原理及其实现性能等。

摘要：提出一种结构新颖的压电驱动膜片式微型气泵,对其输出流量、膜片的振幅等参数进行了理论分析,在此基础上设计、制作了微型气泵样机,并进行了测试实验。这种气泵在结构上充分利用了双压电梁端部位移大的优点,并利用两根双压电梁将膜片悬起,增加了容积变化率和输出流量,并具有结构简单,功耗低,厚度小,无电磁噪音,可靠性高等优点,在微型电子器件的冷却、微型燃料电池换气等方面显示出良好的应用前景。根据实验,微型气泵的一阶固有频率约为120 H z,在谐振状态下,当驱动电压为50 V时,其输出流量为192 mL/m in,功耗小于23 mW。

摘要：微型机电系统技术是一个新兴的技术领域．本文论述其多学科交叉的性质、研究领域、相关设计理论研究、开放的工艺基地、特种精密加工、产业化问题和发展ＭＥＭＳ的问题。

摘要：本文分析了矩形截面环形蠕动微泵存在的泄漏问题及其对微泵性能的影响,减小泄漏是提高微泵背压和自吸能力的有效途径.通过Ansys有限元建立二维接触模型,模拟了各参数项对微泵泄漏率的影响,得出影响微泵泄漏率的主要参数为深宽比和挤压力,在一定范围内,深宽比越小、挤压力越大,则密封性越好,通过仿真拟合得到了计算泄漏率的近似公式;根据计算结果,设计制作了具有不同深宽比参数和不同挤压力的微泵,并对比测量了不同参数微泵的流量及背压,实现了最小2%的实际泄漏率.实验结果表明通过仿真拟合公式计算得到的泄漏率与实测泄漏率具有较好的吻合性.通过拟合公式优化设计微泵的结构参数,可有效降低微泵泄漏率,提高流量控制准确性,增大背压和自吸能力.

摘要：设计了一种微小型动力泵——微型单杆螺旋泵，它利用螺杆在液体中旋转时产生螺旋泵送效应来实现流体输运。初步的理论分析和实验研究结果表明：对于确定几何形状参数的矩形螺杆螺旋泵，其输出流量与螺杆转速和背压基本上成线性关系；其最高背压与流体粘度、螺杆转速近似成正比。试制的微小型螺旋泵外形尺寸（包括微电机）为直径８ｍｍ，长４０ｍｍ；重１０ｇ，额定功率消耗０．３Ｗ；最高背压可达２４０ｍｍＨ２Ｏ，最大流量为１００ｍｌ／ｍｉｎＨ２Ｏ。