摘要：为提高压电泵输送气体能力,采用了一种开启压力较小、截止效果好的伞形橡胶阀,设计制造了三腔并联气体压电泵。试验测试了在3种工作方式下三腔并联压电泵的输出流量。结果显示：当3个振子同相工作时输出效果最好。将输出效果最好的试验数据同理论计算获得流量值比较,结果表明：在40~400 Hz工作频率内,二者结果非常接近,这证明了理论计算的正确性。所设计的三腔并联泵,在110 V正弦交流电驱动下,在测试工作频率段内,最大输出流量可达4 000m L/min。试验结果为了解三腔并联泵的工作特性提供了可信数据。

摘要：为提高双腔串联压电泵的输出性能,对泵的进口腔与出口腔的容积比进行了优化设计。分别设计了容积比为1.9、1.5、1.3三种串联压电泵样机,并对样机进行了试验测试。试验结果显示,采用增加容积比的方式可以提高双腔串联压电泵的输出流量,但不能提高其输出压力;对每个不同腔体容积比的双腔串联压电泵在异步驱动和同步驱动下进行了输出性能测试,测试结果显示,当输送气体时,两种驱动方式均有很好的流量输出,且输出结果比较接近,但仅有异相驱动时才能输出液体。分析结果为提高双腔串联压电泵的输出性能提供了很好的依据。

摘要：为使双腔并联压电泵能够输送较大粘度的液体，设计了一种以5～7μm厚度铍青铜材料加工而成的薄片型轮式平板阀。在理论上分析了阀的过流特性，确定了影响通过阀体流量的因素，即阀自身的几何尺寸、作用在阀两侧的压力差及液体粘度对其影响，并以试验的方法确定了当阀片半径为3．25mm、阀孔半径为2．75mm时，双腔并联压电泵输出流量最好。分别以不同浓度的甘油水溶液作为试验液体，测试了在不同液体粘度、不同工作频率下双腔并联压电泵的输出流量。试验发现，随着液体粘度的增加，阀开启时的阻力增大，开启量变小，阀和压电振子之间振动相位差不断加大，截止性能变差，压电泵净输出量减少。在液体粘度μ＝1．311mPa·s时，压电泵的最大输出流量可达1300mL/min，而当液体粘度μ＝234．6mPa·s时，压电泵的最大输出流量仅为30 mL/min左右。试验结果为获得双腔并联压电泵输送不同粘度液体的能力提供了可靠的数据。