摘要：这是在意大利所进行的一项预研性工作。利用了激光和超声波干涉技术,研究了影响微气体压力测量精度的各种因素。介绍了油介质 U 形压力计主体系统的结构和测试方法、测液面光学干涉系统的设计、干涉条纹的自动测试、U 形计对电容薄膜规的校准以及改进 U 形压力计的方法。结果表明:用 U 形压力计校准满量程为133Pa 的电容薄膜规是完全可能的。在现有系统上校准的最佳区问为10^(-1)～10^(-3)Pa。这里所介绍的 U 形压力计还只是样机。欲要作为实用的基础真空标准还有待继续完善。

摘要：本文介绍恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了误差分析与实验结果．流量测量范围为３．４９～１．９７×１０５Ｐａ１／ｓ，不确定度≤２．２５％。该微流量计已用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。

摘要：恒压式气体微流量计是校准气体微流量的一种装置，校准范围为（１７．１～１×１０－５）Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％，可采用直接测量法和比较测量法对标准漏孔进行校准。文章介绍恒压式气体微流量计的设计方法和结构参数的选择。

摘要：介绍了φ500制冷机低温泵的系统组成及其结构设计的特点。着重叙述了泵的性能测试方法,并通过实验测试了其主要性能指标。泵的工作压力范围为10^(-1)～10^(-7)Pa,对各种气体均有较大的抽速,并具有操作使用方便、性能稳定可靠、系统清洁无油等优点。

摘要：介绍了恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了实验结果，流量测量范围为３．４９～１．９７×１０－５Ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２．２５％。该微流量计己用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。