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激光剪切干涉系统的设计与应用
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《光电子.激光》2023年 第12期34卷 1249-1255页
作者:彭子明 吴义云 郑梦超 李国友 吴建光 邹勇安徽工业大学微电子与数据科学学院安徽马鞍山243032 南京宁基物联网技术有限公司江苏南京210031 
针对以光相干为基础的无损、非接触测量研究,利用沃拉斯顿棱镜(Wollaston prism, WP)作为剪切元件,设计了共光路激光剪切干涉的方法并组建系统。本文详细分析了其各个部件对所得干涉条纹成像质量的影响,得到了获取最优干涉条纹所需要满...
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