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湿法工艺设备高温化学液的直排技术研究
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《电子工业专用设备》2021年 第5期50卷 60-63,67页
作者:吴娖 祝福生 赵宝君 秦亚奇 安稳鹏中国电子科技集团公司第四十五研究所北京100176 
湿法工艺设备中经常使用到具有强腐蚀性的强酸类高温化学液,例如160℃的SPM、270℃的H_(2)SO_(4)+H_(3)PO_(4)混合液等。普通的排放方式无法实现高温化学液直接排放。先自然降温再排放的方式换液时间长,各种辅助降温方式,都存在着不足...
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