摘要：在〈100〉晶向硅片上通过各向异性腐蚀形成作为模板的倒金字塔形尖坑,用LPCVD和PECVD法淀积一层约1μm厚的氮化硅膜,通过等离子刻蚀形成悬臂梁图形,再把抛光玻璃片静电键合到氮化硅膜上,最后把衬底硅片腐蚀掉,带有金字塔形针尖的悬臂梁就暴露出来,从而构成可用于原子力显微镜(AFM)描绘纳米图像的氮化硅纳米探针。对针尖的尖度和氮化硅膜悬臂梁的热应力补偿进行了深入研讨,并报道一种特殊而有效的悬臂梁掩模板图形的新设计。制成的氮化硅纳米探针在原子力显微镜上成功地描绘出了纳米图像,经检测,其Z向偏转检测精度优于10-9量级。

摘要：在已有液压回路的基础上,提出了一种新的、用于实现动力滑台运动的二工进调速阀的二工进速度换接回路,给出了其组成图和工作原理。采用FX2N-32MR型PLC设计了其控制系统,得出了新回路及其控制系统的特点。同时,以YT4543型典型液压系统为例,介绍了新回路的应用。

摘要：介绍一种采用矩形双岛硅膜结构,量程为6kPa的扩散硅低压传感器。该传感器具有非线性内补偿和20倍量程以上的过压保护功能。着重介绍了该产品的设计、芯片制造与封装工艺、温度系数补偿办法和传感器技术性能的测试结果。

摘要：在基于加工原理及渐开线展开原理的基础上建立的任意转角位置的双圆弧齿轮齿廓数学模型,其表述简单,应用时无须作坐标变换,能准确、真实地描述双圆弧齿轮轮齿在任意转角位置时齿廓上的任一点,实现了双圆弧齿轮齿廓的简单、准确、快捷计算,为双圆弧齿轮数字化设计、制造、啮合分析、运动学和动力学分析提供了简单、快捷的新理论依据。

摘要：本文论述了实现扩散硅压力传感器性能优化的一些技术措施、设计原理和工艺技术.采用矩形双岛硅膜结构等新型微机械结构可提高灵敏度和精度并实现过压保护;通过改善工艺并进行表面钝化、改进封装工艺与结构等可改善稳定性;用恒压源及三极管补偿法和等效电阻最佳耦合法可对其灵敏度、零位温度系数进行补偿;采用各向异性腐蚀工艺技术可实现集成化生产.

摘要：介绍了２５０ＡＩＧＢＴ逆变式手弧、ＴＩＧ两用焊机主电路的工作原理及对ＩＧＢＴ工作状态的改善。

摘要：在已有液压回路的基础上,提出了一种新的、用于实现动力滑台运动的二工进调速阀的两工进速度换接回路,给出了其组成图和工作原理。采用FX2N-32MR型PLC设计了其控制系统,得出了新回路及其控制系统的特点,展现了PLC在工业控制领域的广阔应用前景。

摘要：分析齿轮传动系统中,由于振动等因素引起噪声,并论述降低噪声的几种方法。

摘要：在DFX的基础上 ,提出了面向产品上市时间设计 (DFT)的设计方法新概念 ,分析了基于面向产品上市时间设计的意义 ,从产品各设计阶段及设计内涵上阐述了面向产品上市时间的设计策略 。

摘要：本文就所研制的ＩＧＢＴ逆变式手弧焊机主电路的选择及控制电路的设计进行了分析．为了降低成本，采用了ＩＧＢＴ音单管用及适用于单管的主电路；为了提高焊接性能，就焊机的动态特性及外特性控制进行了研究．