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一种基于LabVIEW的相位法PSD微位移测量系统设计: 收藏
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引用; 《传感器与微系统》2011年第12期30卷 116-118页; 作者：吴腾蛟薛联段莹席锋秦岚重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044; 基于相位法的位置敏感探测器(PSD)检测技术较之幅值法具有处理电路简单、检测精度高、抗干扰能力强、环境适应性好等优点。利用二维双面分流型PSD和LabVIEW虚拟仪器平台,实现了基于相位法的PSD微位移测量系统的设计。实验表明:PSD输出...; 基于相位法的位置敏感探测器(PSD)检测技术较之幅值法具有处理电路简单、检测精度高、抗干扰能力强、环境适应性好等优点。利用二维双面分流型PSD和LabVIEW虚拟仪器平台,实现了基于相位法的PSD微位移测量系统的设计。实验表明:PSD输出信号的相位差和光斑位置具有良好的线性关系,非线性误差小于0.1%。; 来源：详细信息评论

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