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石英晶振真空测量计
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《科技信息》2009年 第10期 70-70页
作者：李学锋 周佳伟 王森西安工业大学光电工程学院 
本文提出了以晶振作为传感器对封装腔体内部真空度进行测量的方法,并设计了一套基于晶振传感的真空度测量系统。该系统根据音叉型石英晶振谐振时阻抗与周围压强的关系制作而成。将音叉型石英晶振作为陪片直接封装在MEMS真空封装的壳体中...
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