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基于MEMS技术的仿生纤毛风速传感器的设计和仿真
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《半导体光电》2022年 第6期43卷 1075-1079页
作者：卢建勋 周南彦 刘武上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室上海200240 上海交通大学微纳电子学系上海200240 
设计了一种可以实现二维风速测量的电容式纤毛传感器,其特点为通过差分电容检测流速,传感器运动结构所对应的背硅被完全刻蚀。采用有限元分析软件,通过流体-固体-静电场的多物理场仿真,分析得到了传感器的差分电容与风速的变化关系。结...
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