摘要：运用误差灵敏度分析理论对静电刚度式谐振微加速度计在工艺误差下的初始谐振频率进行鲁棒性设计,通过解析法建立频率鲁棒条件下的机电耦合参数关系,指出合理的机械结构尺寸关系与合理的静电场电压调节都可以提高加速度计的频率鲁棒性,从而大大地降低结构设计难度与工艺加工要求;根据静电刚度式谐振微加速度计的刚度耦合特性及微加工工艺的不成熟性,频率的鲁棒性是通过驱动电路电压调节来实现的,从而说明了在微电子机械系统中,由工艺误差所引起的器件性能波动可以通过适当的电路调节进行补偿;运用硅微键合工艺与深反应离子刻蚀技术加工出加速度计的谐振器结构,将结构尺寸代入参数关系式中,得出保证频率鲁棒性的外加检测电压为1.37V。

摘要：机械设计制造及其自动化是一门潜力巨大的专业科目,其中自动化方面令此技术得到更好的完善,使机器更加稳定,使科技的智能与人工方面得到更好的结合。机械设计制造及其自动化拥有极大的发展前景,应更好的完善此项科学技术。

摘要：提出了一种新型的压力膜结构来实现MEMS压力传感器的高灵敏度与低非线性度。通过在压力膜上设计出短窄梁结构来形成高应力集中区域及将方形压力膜改为椭圆弧瓣状压力膜的方法来提高传感器的灵敏度;通过在压力膜的受压表面上边缘处设计出方岛结构及在压力膜背面设计十字架梁结构来降低传感器的非线性度。最后,利用有限元方法对新型压力膜的力学性能进行仿真分析,建立了膜结构尺寸与力学性能之间的关系模型并完成了膜结构优化,通过与其他膜结构对比表明:文中提出的膜结构具有最大的薄膜应力能实现高灵敏度,较低的薄膜最大变形可保证高线性度。

摘要：研究了硼掺杂引起的结构翘曲量对微加速度计性能的影响,获取指导微加速度计设计更为准确的物理模型。通过解析计算,结合有限元仿真及实验等方法,研究了不同硼扩散深度对微加速度计灵敏度的影响,得出了不同掺杂状态下微加速度计灵敏度与结构翘曲量之间的关系表达式。理论分析与测试结果表明,考虑翘曲变形的微加速度计的灵敏度比无翘曲时的微加速度计灵敏度减小了约5 m V/g,而当硼扩散深度从90μm变化到120μm时,灵敏度变化量约为2 m V/g。硼掺杂引起的翘曲变形使微加速度计的灵敏度降低,且随着扩散深度增加,灵敏度增大。

摘要：利用有限元方法,仿真分析了深反应离子刻蚀工艺造成的折叠梁宽度误差对电容式微加速度计温度漂移的影响。在存在工艺误差和保证微加速度计灵敏度恒定的前提下,增大了折叠梁设计宽度,计算了不同宽度下微加速度计的温度漂移量。结果表明:刻蚀工艺误差越大,微加速度计温度漂移量越大。折叠梁设计宽度为4.5μm和6.5μm时,最大温度漂移量分别为2.42mg/℃和1.71mg/℃,因此通过适当地增大设计尺寸,可以有效地减小微加速度计的温度漂移量。

摘要：面对周永家的作品,有如临大海的感觉,宽阔、博大、气度恢宏。 周永家,人称大海画家,从50年代应征入伍至今,一直生活在万里海疆,与大海朝夕相伴。大海引导他走向艺术殿堂,大海一直是他艺术创作的源泉。 如果说,50年代周永家作为“朗卓红”三人绘画小组成员之一蜚声画坛,创作出《军港雪夜》、《海疆夜哨》等作品,是对翻腾呼啸大海的叹服。

摘要：为分析运算放大器频率特性对加速度传感器检测电路实际性能产生的影响,提出了一种分析电路参数对运算放大器实际性能产生影响的研究方法。本研究建立了加速度传感器检测电路等效模型,分析了电路参数对运算放大器频率特性产生的影响。为验证理论分析,文中根据运算放大器的具体参数,选择合适的电路参数,设计了一个用于加速度传感器的检测电路,检测电路的实验结果与理论设计相符合。理论分析与实验结果表明,合理选择电路参数可以使运算放大器工作于理想状态,减小运算放大器频率特性对检测电路实际性能的影响。

摘要：运用梁的横向振动特性分析了梁振动频率与平行板电容形成的静电刚度的关系,并以此设计了静电刚度式谐振微加速度计。在加速度作用下,检测质量产生的惯性力使电容器极板发生位移来改变电容结构的间隙大小,从而使谐振频率发生变化,通过检测频率变化量来测量输入加速度的大小。根据加速度计的工作原理说明检测过程中梁的机械刚度保持不变,只与产生静电刚度的电容间隙变化相关,减小了检测信号对机械误差与残余应力的依赖性。运用加工参数进行理论计算得出加速度计的灵敏度为21.17Hz/gn,在CoventorWare2005中进行仿真表明:加速度计的固有频率为23.94 kHz,灵敏度约为20Hz/gn,与理论设计值相近。

摘要：该文依托华为资助项目搭建了MEMS微镜的幅频特性实验,并将其应用于机械动力学教学实践。首先,通过MEMS微镜的工作原理阐明了相关的机械动力学理论知识。其次,对MEMS微镜幅频特性实验进行了详细论述,包括实验平台构成、微镜角度的光电检测方法、实验数据处理及工程应用。最后,阐述了实验在机械动力学教学中作用,包括激发学习热情、课程思政、提升工程实践和融合创新能力等。

摘要：对MEMS中并联或串联组合而成的两种折叠梁形式的总刚度进行了分析,分析了两种梁在总刚度相同的条件下对加工误差的灵敏度,指出在加工误差不可避免的情况下,选择合适的折叠梁结构来满足具体的运用要求。得出:除发生误差的情况之外,折叠梁对误差的灵敏度比单梁小得多。运用CoventorWave软件对梁结构在随机相对误差下进行了有限元仿真分析,验证了理论分析的正确性。