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田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真
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《电子产品世界》2020年 第12期27卷 79-82,85页
作者：周寿权 张国俊 王姝娅 戴丽萍 钟志亲电子科技大学电子科学与工程学院成都611731 
介绍了一种田字形单质量块三轴电容式微加速度计的设计与仿真。该加速度计以SOI晶圆作为基片,经过氧化、光刻、干法刻蚀和湿法刻蚀等工艺步骤得到。通过支撑梁和3个轴的敏感结构的巧妙设计,有效避免了平面内和垂直方向的交叉轴干扰的影...
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