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检索条件"作者=周绍林"
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接近式光刻对准中的叠栅干涉测角方法
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《中国激光》2014年 第12期41卷 156-162页
作者:佟军民 周绍林 赵立新 胡松许昌职业技术学院机电工程系河南许昌461000 中国科学院光电技术研究所四川成都610209 
干涉测量是众多科学与工程领域广泛采用的精密计量手段。探索了一种方便可控的基于双光栅衍射的叠栅干涉相敏测角方法,可直接用于接近式光刻过程中掩模衬底的倾斜矫正及面内角调节,便于微纳米器件及微光电子系统集成等相关应用。本方法...
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双通道偏振复用可擦除介质型全息超表面
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《中国激光》2023年 第18期50卷 209-218页
作者:刘亮 周绍林 全海洋 刘俊伯 王建 胡松华南理工大学微电子学院广东广州511442 中国科学院光电技术研究所四川成都610207 
为进一步增强加密或存储器件的实用性与安全性,设计并实现了一种多通道偏振复用的相变全息超表面,通过在多通道全息超表面设计中引入相变介质,实现了动态的可擦除功能。当耦合相变介质层处于非晶态时,所构造的编码超表面可以产生两个独...
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基于矢量衍射理论的振幅型光子筛设计与分析
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《光学学报》2010年 第2期30卷 428-432页
作者:蒋文波 胡松 赵立新 杨勇 严伟 周绍林 陈旺富中国科学院光电技术研究所四川成都610209 中国科学院研究生院北京100039 
光子筛作为一种新兴的纳米成像器件,具有分辨力高、体积小、重量轻、易复制等优点,被广泛地应用到纳米光刻、大型天文望远镜、航空航天摄像等领域。为了追求高分辨力,须将光子筛的小孔直径做得非常小,但当光子筛的小孔直径远小于入射光...
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红外和太赫兹电磁吸收超表面研究进展
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《光电工程》2019年 第8期46卷 1-13页
作者:邓洪朗 周绍林 岑冠廷华南理工大学电子与信息学院广东广州510640 华南农业大学工程学院广东广州510642 
超表面是一种可实现多功能超常电磁调控的超薄型二维阵列平面。它由超材料结构单元组成,可以灵活有效地操控电磁波的相位、极化方式、传播模式等特性,因而在可控智能表面、新型波导结构、电磁波吸收和小型谐振器件等方面展现了广阔的应...
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基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究
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《中国激光》2012年 第9期39卷 163-167页
作者:朱江平 胡松 于军胜 唐燕 周绍林 刘旗 何渝中国科学院光电技术研究所四川成都610209 电子科技大学光电信息学院四川成都610054 中国科学院研究生院北京100049 华南理工大学电子与信息学院广东广州610540 
针对接近接触式光刻技术的特点,提出了一种实用的反射式光刻对准方案。方案采用差动叠栅条纹对准技术,以叠栅条纹相位作为对准信号的载体。在掩模和硅片上分别设计两组位置相反、周期接近的光栅对准标记。电荷耦合器件(CCD)成像系统接...
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谈高填方路基的边坡防护设计
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《黑龙江交通科技》2008年 第11期31卷 9-9,11页
作者:周绍林深圳市综合交通设计研究院 
结合工程实践,介绍了高填方路基边坡中填方路段排水设计、边坡防护设计的常用方法。
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路基高度设计影响因素分析与路基施工
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《黑龙江交通科技》2008年 第12期31卷 52-53页
作者:周绍林深圳市综合交通设计研究院 
填土高度关系到路基的质量与经济性,通过对影响路基填土高度的线型,通道,环境等因素进行的综合分析,以期在路基设计中予以借鉴。
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基于双光栅的纳米测量方法
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《光学学报》2009年 第3期29卷 702-706页
作者:周绍林 杨勇 陈旺富 严伟 马平 蒋文波 胡松 唐小萍中国科学院光电技术研究所四川成都610209 中国科学院研究生院北京100039 
针对两个物体或平面的相对位移和间隙的纳米级变化量,提出并研究了一种光栅测量方法。采用两组周期接近的微光栅重叠可以产生一组周期分布的条纹,条纹的周期相对于两光栅周期被大幅度放大,并将光栅间的位移反应在条纹的相位信息中。建...
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位相型衍射光学元件设计的混合算法
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《光电工程》2009年 第5期36卷 47-51页
作者:蒋文波 胡松 赵立新 严伟 杨勇 周绍林 陈旺富中国科学院光电技术研究所成都610209 中国科学院研究生院北京100039 
针对传统的光束整形算法在设计位相型衍射光学元件时效果差的缺点,本文提出了一种适合于位相型衍射光学元件设计的新混合算法。该混合算法是将变尺度BFGS算法融入遗传算法中,其中变尺度BFGS算法主要用于局部搜索,同时将罚函数优化准则...
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干涉空间相位光刻对准方法研究
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《微纳电子技术》2010年 第10期47卷 634-637,642页
作者:马平 胡松 周绍林 徐文祥中国科学院光电技术研究所成都610209 
介绍了一种适合高分辨力接近/接触式光刻的新型纳米级光刻对准方法。简要阐述了该对准方法的基本原理,探讨了应用该对准方法的光学结构设计,提出了照明光路与干涉条纹捕获光路的垂直设计,采用单色非曝光光源远心照明方式并外加补偿光路...
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