摘要：本文概略地阐述了作者研制的行波管周期永磁聚焦系统ＣＡＤ软件的原理、计算方法和功能．该软件包含有计算程序和前。后图形处理程序，计算程序的精度满足工程设计要求，是行波管周期永磁聚焦系统的良好辅助设计手段．

摘要：基于场电离的一般原理,设计并制作了气体场离子源实验装置,包括能提供低温冷面的冷却系统,能提供工作气体的充气系统,能产生场电离离子的场电离室,能对源性能进行测试及现察的测试系统以及真空系统,引出了束流并对源的伏安特性及角亮度进行了测试,实验结果与理论估算相符。

摘要：将电子光学正则像差的李代数理论应用到复合磁聚焦－偏转系统。运用这一新型代数工具，同时利用计算机代数的符号推导功能，推导出了复合系统的高斯光学性质和在任意观察平面的全部三级正则位置像差和正则动量像差。结果完整且形式简洁，与传统的逐次近似像差理论一致。李代数方法对于高性能扫描探针系统的设计与研究提供了一种新型有效的理论工具。

摘要：微分代数是带电粒子光学中新近出现的一个很有前途的数学工具。作为一种自动微分技术，它结合了非标准分析、简正级数理论等的思想。微分代数提供了一种可达到机器精度的研究非线性系统任意阶性质的极为简便的方法，故应用领域非常广泛，对带电粒子光学中的轨迹追踪、高阶像差分析与校正、灵敏度分析与结构优化设计等都是一个很有效的工具。综述了微分代数的基本原理和独特性，分析了它在带电粒子光学中的应用，以及在不同计算机语言中的软件实现，提出了今后的一些发展方向。

摘要：建立了扫描隧道显微镜在恒流模式下的隧道电流回路的等效模型．用根轨迹法分析了回路的自激频率和使回路稳定的最佳电路参数设置原则．

摘要：通过数值方法对线偏光在Littrow装置中的理想导体闪耀光栅的偏振特性进行研究.用时域有限差分程序计算出任意偏振方向线偏光经过闪耀光栅衍射后的电磁场分布,提取衍射波的S偏振和P偏振分量,讨论了与光栅闪耀角和入射光波偏振角的关系.分析了在1530～1570nm光谱范围内,入射光波为线偏振波和园偏振波时,衍射光波的偏振色散特性与光栅闪耀角的关系,并给出了存在偏振色散的光栅闪耀角范围.这些分析和结果对工程设计具有一定的指导意义.

摘要：本文引入一种研究扩散光波导传播特性及设计计算的新方法——等效阶跃平板波导方法 .建立了扩散平板光波导的等效阶跃平板波导模型 ,进行了一系列的模拟计算 ,得出了一系列波导传播参量、结构参量与工艺参量之间的关系曲线 .这些曲线对于扩散平板光波导的设计计算、工艺参量选择等具有重要指导意义 .

摘要：以磁浸没透镜的电流密度值的大小为优化参量 ,以成像系统的轴上像散为目标函数 ,利用单纯形优化法对用于投射式电子束曝光系统的新型磁浸没透镜进行了优化设计。结果表明 ,目标函数由未经优化前的 35 8.187nm降低到 5 0 .6 93nm。同时单纯形优化法不需要已知目标函数与优化参量之间的解析关系式及求导 。

摘要：研制出一种将物镜、电子能量分析器与二次电子收集器复合在一起的电子光学系统,该系统能用于集成电路的电子束检测,定量地测定微电路的电位分布。利用侧极靴磁透镜作物镜,该透镜轴上最大磁场在透镜体外,带有吸引栅的拒斥场分析器处在透镜体内,样品处有很强的透镜磁场。通过计算机优化设计,样品发出的二次电子在复合电磁场作用下大体正交地进入拒斥场分析器,确保了很高的电位分辨率。实验研究结果证实了计算机CAD设计,S曲线与理论预期的很接近。本文还提出了一种理论模型,用于分析了局部场效应,尤其是局部位垒对S曲线的影响。

摘要：本文研究了强流微束斑电子束的形成问题。提出了一种采用新型磁透镜的电磁复合聚焦系统,这种新型电子束系统的轴上磁场在电子束束腰附近达到极大值,并且轴上磁场分布关于其极大值不对称。利用附加电极在磁场较强的区域构成具有拒斥电场的电透镜,以充分抑制空间电荷推斥力的散焦作用。利用描述电流密度分布演化的变态伏拉索夫方程,研究了强流微束斑电子束系统,数值分析研究了透镜激励和电子束初始条件对于电流密度分布演化的影响。发现侧极靴透镜和相应电极形成的电磁复合聚焦场对于强电流电子束具有优秀的聚焦效果,设计出了利用侧极靴磁透镜的新型电子光学系统,这种系统可以形成电流达到1.96mA、束斑半径仅为4.2μm的强电流微束斑电子束。