摘要：为了实现对射频微电子机械系统(MEMS)波段威尔金森功分器电路的精确设计和优化,使达到的设计目标满足性能要求,采用先进设计系统(ADS)软件对工作频带为32~36 GHz的RF MEMS功分器进行了建模仿真,并得到初始的电路设计参数。通过使用结合柯西变异的改进的粒子群优化(PSO)算法对RF MEMS功分器的初始电路设计参数进行优化,采用矩阵实验室(MATLAB)软件和高频结构仿真器(HFSS)软件进行联合仿真实现优化过程,最终得到满足设计目标的RF MEMS功分器的性能曲线,以及对应的功分器优化后的电路设计参数。结果表明,优化后的RF MEMS功分器回波损耗比设计目标优化了2.5 dB,插入损耗优化了0.3 dB,隔离度达到了-20 dB的设计要求。最终通过仿真验证了改进的PSO算法能够快速有效地对RF MEMS功分器的电路参数进行优化达到RF MEMS功分器设计的性能要求。