摘要：本文在介绍了平面2DOF双轨并联机构实验平台结构和功能的基础上,着重阐述了应用TMS320F2812-DSP芯片设计主控制器和用THB7128设计步进电机驱动器的方法,并详细介绍了上位机监控软件的功能和界面布局。监控计算机通过CAN-USB适配器和主控制器进行通信,构成主—从式控制网络,可以实现控制运动指令的解析和下载,还可以实时监控机构的运动轨迹。

摘要：针对传统的基于单一检测信号的火灾报警器易造成失判和误判以及条件参数固化的问题,设计了一种基于光强、烟雾离子、温度检测的智能火灾报警器;该报警器利用C8051F040单片机采集来自温度、烟雾和光强传感器的信号,并运用连续概率模型进行综合分析处理,提高了火灾报警的准确性和及时性;可以通过CAN总线通信接口把报警器处理后的信息传递给监控计算机和楼宇控制器,并控制相关消防设备动作,构成火灾报警系统;论文详细介绍了报警器的硬件构成,连续概率判断的数学模型及其实现方法;模拟测试中将报警器火灾预警概率设置15%,报警概率设置50%,实验结果表明:报警器能够准确、快速地反应整个火灾概率过程,并给出预警、报警信号以及动作相关消防设备。

摘要：薄膜沉积工艺是半导体制造、MEMS、表面工程等领域的基础工艺。等离子体增强化学气相沉积（PECVD）是重要的薄膜沉积工艺方法之一,其工艺系统涉及复杂多场耦合及化学反应过程。目前PECVD反应腔室设计与工艺调控的研究普遍依赖经验试错与大量的工艺参数试验,不仅需要大量的时间与物力成本,且复杂的工艺过程没有得到揭示。实质上,设备的工艺参数是影响薄膜沉积工艺性能的表象因素,其深层次的因素是物质、能量的空间分布（称之为工艺因素轮廓）。