摘要：为了修正和提高计量线覆盖的5～140nm波段光学元件性能的定标和测量精度,根据国家同步辐射实验室光谱辐射标准和计量光束线的高次谐波分布设计了高次谐波的抑制方案。利用3 500,840l/mm金膜自支撑透射光栅和光电二极管探测器研究了计量线在5～140nm波段高次谐波的分布情况,并据此提出了利用Si、Al、Al/Mg/Al滤片以及LiF窗、MgF_2窗在不同波段对高次谐波进行抑制的方法。实验结果显示：在5～15nm波段,无滤片情况下高次谐波含量极低;在15～40nm波段,通过在相应波段添加适当滤片的方式,经探测器量子效率修正后的高次谐波比例可抑制在1.8%以下;在105～140nm、115～140nm波段,运用LiF窗、MgF_2窗滤波可使高次谐波比例基本为零。由此表明,使用滤波片对全波段抑制谐波的方案是有效的。