摘要：为了提高Pt温度传感器的响应时间和可靠性水平,设计了一种MEMS冗余结构的新型温度传感器。结构基体采用可微加工0.1 mm厚的γ-Al2O3陶瓷;敏感薄膜由磁控溅射沉积而成,并采用离子束刻蚀方法加工成标准阻值。分析和测试表明:传感器输出与温度变化呈线性关系,空气状态下的90%响应时间小于60 s,在-20～180℃温区内非线性小于0.01%。采用二单元冗余设计的并联工作方式可有效提高传感器的可靠水平。

摘要：为了提高铂薄膜热敏电阻器的灵敏度,设计一种标称阻值为5000Ω的超细阻栅结构。通过对高精度干法刻蚀技术研究,解决了传统激光刻蚀和反应离子刻蚀不能加工高质量精细线条的技术问题,实现7μm特征铂电阻条尺寸的加工。测试和分析表明:铂薄膜热敏电阻器在0℃下标称阻值为5 000±1.0Ω,灵敏度为19±0.5Ω/℃,温度系数为(3850±12)×10-6/℃。

摘要：提出了一种基于陶瓷基体铂薄膜电阻热式气体质量流量计的设计方法,分析了热式气体流量计的原理,制作了陶瓷铂电阻流量敏感元件,为降低加热功耗,提出了通孔方案。设计了恒温差控制电路和MSP430单片机处理电路,并制作出了实际样机。采用音速喷嘴标定装置对样机进行了标定和测试,该流量计的测量范围500~1 500 kg/h,精度±0.5%,响应时间2 s,能够满足大工业气体管道流量的测量要求,具有广阔的应用前景。