摘要：晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以及对应排布方案,以温度均匀性为优化目标,获取最优设计方案。经不同方案验证,该模型的精度在98%以上,可显著提升加热盘设计效率,为人工智能在加热盘设计领域的应用提供可能性。此外,基于传热学理论,提出了一种加热盘控温能力的设计方法,通过一维计算的方式,为加热盘控温能力的优化设计起到了指导作用。

摘要：基于复杂轮系状态空间理论,提出了一种复杂行星轮系功率流分析的简便方法。首先将复杂轮系拆分成基本单元,通过对单元结合点进行分析,建立相应轮系的特征状态方程以及基本单元的连接约束方程;然后对轮系单元结合点进行特征状态向量分析,根据轮系的实际情况确定结合点功率正负,判断功率流向;最后以某风机减速器为例,对其轮系的功率流进行分析,验证了该方法的有效性。

摘要：分布式光伏(distributed photovoltaic,PV)具有能源利用率高、环境污染小、就地消纳灵活等优点,是国家能源革命战略的重要组成部分。然而,其点多面广、分散无序等特点导致光伏运维数据采集成本较高、效率偏低,给分布式光伏产业链的发展带来了挑战。为此,本文从智慧运维的角度提出了一种分布式光伏运维数据的虚拟采集技术设计思路。首先梳理了分布式光伏运维所需采集的数据类型,并阐述了虚拟采集技术的概念与内涵,对比分析了虚拟采集技术与现有分布式光伏出力预测、运维数据补全、状态估计等之间的区别与联系,并提出了虚拟采集技术的技术路线。然后从准入原则、技术基础、前提条件、典型场景等方面探讨了虚拟采集的关键技术,以期为分布式光伏智慧运维提供借鉴。