摘要：为解决大范围、高精度的线位移传感器连续自动校准问题,在用于校准高精度线纹尺的激光干涉比长仪标准装置上研制线位移传感器动态校准系统。采用基于环境参量测量的激光波长实时补偿的激光干涉仪作为标准位移发生器,实现位移传感器示值误差校准的高精度直接溯源;设计基于标准激光干涉仪细分脉冲的同步触发系统,实现在运动过程中对标准干涉仪信号和被测位移传感器输出信号的同步实时采集。对校准系统进行测量不确定度评定及利用多种位移传感器进行试验验证,结果表明本系统实现动态位移自动校准,测量范围可达1m,测量不确定度0.02μm+1.0×10^(-6)L(k=2)。

摘要：高等别线纹尺广泛用于精密加工及精密测量设备的定位、标定及校准等。为满足长三角地区高端装备制造业对高等别线纹尺的量值溯源需求,提升地方计量机构的量传能力,研制开发了新的激光干涉比长仪装置。在主体结构设计、激光干涉测长、环境监测与补偿等方面进行了精心设计,并利用基准尺等多种仪器,对装置各部分的计量特性进行校准及实验测试。测试结果表明,该装置校准线纹尺达到了基准级的测量精度。