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精密微小内尺度测量技术研究进展
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《中国机械工程》2010年 第1期21卷 120-125页
作者：崔继文 谭久彬 宋传曦哈尔滨工业大学哈尔滨150001 
针对微小内尺度的精密测量问题介绍了非接触式、补偿式与瞄准触发式等几种测量新技术。分析了每一种测量技术的测量机理,通过对其结构设计分析得出该技术适用的测量范围,并对其测量性能进行了讨论;重点分析了瞄准触发式测量技术,并对其...
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