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金刚石薄膜连续制备的热丝化学气相沉积设备研制
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《真空》2020年 第6期57卷 1-4页
作者：刘鲁生 翟朝峰 杨兵 宋昊哲 于岐 史丹 袁子尧 卢志刚 陈滨 周美琪 李海宁 喻彪 黄楠 姜辛中国科学院金属研究所辽宁沈阳110016 
根据目前热丝化学气相沉积(Hot Filament Chemical Vapour Deposition,HFCVD)金刚石薄膜制备设备现状:存在热丝多为水平放置碳化变脆后易发生断裂、不能实现CVD金刚石薄膜的连续制备、生产成本高及制备效率低等缺点,依据热丝化学气相沉...
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