摘要：纳米硅尖在原子力学显微镜、微机械电子、光学研究、纳米级图形加工上具有广泛的用途。然而,如何制备小曲率半径高纵横比的硅尖仍为有待解决的问题和挑战。根据各项异性湿法刻蚀硅尖原理,设计了硅尖的加工工艺流程,并制备出不同纵横比的纳米硅尖。通过观察掩模对角线刻蚀进程,得到了掩模对角线刻蚀速率与刻蚀温度的关系;对比了不同刻蚀温度对刻蚀硅尖的影响,发现采用40wt%KOH刻蚀液,水浴78℃的刻蚀条件满足自锐化且刻蚀出纳米硅尖曲率半径小而纵横比大,其曲率半径为26 nm,纵横比为1.9。

摘要：为了使业务人员对新型自动气象站有较全面认识,为今后新型自动气象站的应用奠定基础,介绍了新型自动气象站的系统结构设计与关键技术,着重阐述了新型自动气象站具有的优势。结果表明,新型自动气象站统一标准、统一规格的设计,提高了台站的设备维护能力,降低了维护成本;采用的CAN总线技术,解决了当前自动气象站系统无法扩展新要素的问题。