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检索条件"作者=屈芙蓉"
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全自动荧光粉涂覆工艺及设备研究
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《半导体光电》2013年 第1期34卷 66-68页
作者:刘杰 刘键 冷兴龙 屈芙蓉 刘俊标 吴茹菲中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室北京100029 中国科学院电工研究所北京100190 
自行设计并搭建了一套全自动荧光粉涂覆系统。针对涂覆工艺,研究了有无真空搅拌除泡装置对荧光粉涂覆效果的影响,结果发现未经真空搅拌除泡处理的荧光粉涂覆层厚度均匀性较差,且涂覆层中有明显的气泡,气泡直径可达1mm;经过真空搅拌除泡...
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集束型多层纳米薄膜沉积设备的研制
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《真空科学与技术学报》2020年 第11期40卷 1096-1102页
作者:杨胜 夏洋 兰丽丽 陶晓俊 冯嘉恒 明帅强 卢维尔 屈芙蓉 刘涛中国科学院微电子研究所仪器设备研发中心北京100029 中国科学院大学北京100049 嘉兴科民电子设备技术有限公司嘉兴314006 
运用模块化的设计构想,将等离子体增强原子层沉积工艺单元、热型原子层沉积工艺单元,直流磁控溅射单元和射频磁控溅射工艺单元进行高度优化集成,研制了集束型多层纳米薄膜沉积设备。设备创新采用真空旋转传输平台,替代了传统集成设备的...
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全自动荧光粉涂覆工艺研究
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《半导体技术》2013年 第4期38卷 288-291页
作者:刘杰 刘键 冷兴龙 屈芙蓉 刘俊标 吴茹菲中国科学院微电子研究所微电子器件与集成技术重点实验室北京100029 中国科学院电工研究所北京100190 
自行设计并搭建了一套全自动荧光粉涂覆系统。针对涂覆工艺,通过扫描电子显微镜研究真空搅拌除泡处理时间对涂覆质量的影响,结果发现未经真空搅拌除泡处理的荧光粉涂覆层中有直径达140μm的气泡,且涂覆层厚度均匀性较差;经过20和40 s真...
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不同等级医院护士压疮认知现状对比研究
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《现代医药卫生》2017年 第11期33卷 1641-1643,1646页
作者:陈丽梅 谢莉玲 张志伟 陈超 屈芙蓉重庆医科大学附属第一医院第一分院重庆400015 重庆医科大学附属第一医院重庆400016 
目的了解不同等级医院护士压疮认知现状,为制订培训方案,有效预防压疮提供参考策略。方法采用自行设计的压疮知识问卷对重庆市主城区6所三级医院,5所二级医院,4所社区卫生服务中心(一级医院),共331名护士进行调查。结果不同等级医院护...
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