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法布里-珀罗光学微腔及其应用
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《光学学报》2023年 第16期43卷 116-140页
作者:刘清权 关学昱 崔恒毅 王少伟 陆卫中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室上海200083 上海科技大学物质科学与技术学院上海201210 上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心上海200083 中国科学院大学北京100049 
法布里-珀罗(F-P)微腔作为基础的光学谐振器,因其结构设计方法成熟、品质因子高等特性,在近现代光学领域中具有举足轻重的地位。近年来,随着微纳加工技术的不断成熟,F-P微腔进入了一个新的发展阶段,其结构展现出集成化、多样化、功能定...
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薄膜光学常数的原位测定
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《红外与毫米波学报》2022年 第5期41卷 888-893页
作者:谢茂彬 吴智勇 崔恒毅 赵新潮 玄志一 刘清权 刘锋 孙聊新 王少伟中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室上海200083 上海师范大学物理系上海200234 上海节能镀膜玻璃工程技术研究中心上海200083 上海量子科学研究中心上海201315 中国科学院大学北京100049 上海科技大学物质科学与技术学院上海201210 南通智能传感研究院江苏南通226000 
薄膜的光学常数(折射率和消光系数)精度直接影响设计和制造的光学器件的性能。大多数光学常数的测定方法较为复杂,不能直接应用在镀膜过程中。提出了一种薄膜光学常数原位实时测量的方法,通过监测沉积材料的透射率可以快速准确地测量光...
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