摘要：以MOCVD为研究对象,采用有限元方法研究了喷淋头进气压强、流量、载片盘转速及反应室出口压力对反应室内部流场的影响。结果表明,气体流量及载片盘转速对反应室内部流场具有极大的影响。研究结果不仅为MOCVD工艺操作条件提供了有效的理论支撑,而且也为MOCVD喷淋头的设计提供了重要的参考依据。

摘要：针对超临界二氧化碳(S-CO_(2))燃煤锅炉冷却壁热边界条件的实际分布,采用SST k-ω低雷诺数湍流模型,数值模拟研究了半周加热轴向非均匀热流作用下S-CO_(2)在垂直圆管内的传热特性,分析了不同热流分布、质量流速对换热性能以及圆管内壁温度分布的影响。研究结果表明:轴向非均匀热流分布对S-CO_(2)传热具有显著影响,在平均热流相同的条件下,相较于均匀热流分布,轴向非均匀热流分布下总传热系数最大提高了约8%;轴向非均匀热流分布对传热恶化有抑制作用,有效降低了壁温峰值点;非均匀热流条件下,S-CO_(2)传热主要受类气膜厚度、类气膜导热系数及近壁区定压比热容的影响较大。研究结果可为燃煤S-CO_(2)锅炉设计提供理论指导。