摘要：阐述了应用于外延生长设备的EFEM系统,通过采用顶升机构、机械手和校准器等部件,结合机器视觉辅助判断方法,设计了一种外延生长设备的EFEM系统,该系统有效地提高了晶圆洁净度,提升了设备的自动化水平;并在相关机型进行应用和测试,能够可靠高效地运行。

摘要：目的优选肾安颗粒的提取工艺。方法以方中君药淫羊藿、臣药黄芪的主要成分淫羊藿苷,黄芪甲苷为指标,用半仿生设计法对淫羊藿苷、黄芪甲苷的提取工艺进行优选。结果淫羊藿、黄芪的最佳提取工艺为A1B1C1D1,即第1次提取pH=2,第2次提取pH=7,第3次提取pH=9,共提取5h。结论用半仿生设计法对胃安颗粒中淫羊藿苷黄芪甲苷的提取工艺进行优选,优选出的工艺科学、合理。

摘要：为了实现对外延设备EFEM(Equipment Front End Module)模块的控制,阐述了一种基于Modbus通信协议的自动化控制系统。主要讨论了系统的硬件组成,并详细分析了Modbus RTU协议工作方式,同时,在软件层面上说明了接口控制的协议指令定义规则与常规运行流程。

摘要：为满足SiC外延炉设备运行中各腔室不同压力需求,同时实现工艺压力稳定控制,将SiC外延炉设备压力获得系统划分成工艺压力系统、高真空压力系统、超压防护系统和酸排系统,通过合理计算与选型设计了压力获得系统,并对关键工艺状态进行了试验对比。经过实际工艺验证,目前该压力获得系统已成功应用于SiC外延生长设备,系统功能完备、性能稳定。

摘要：CVD设备水冷循环系统能防止材料在室壁上生长,使反应室得到充分及时地冷却,保证设备的安全运行。根据当前一种主流的CVD设备结构,对设备各冷却部件需要的冷却要求进行了分析计算,确定了各冷却支路需要的管径大小,提出了CVD设备水冷循环系统的结构设计方案,并根据实际运行结果验证了该水冷循环系统的合理性及可行性,满足CVD设备连续工艺对水冷循环系统的要求。

摘要：介绍了基于双频电源PECVD沉积设备的电源系统设计,包括系统组成、射频电源的选取和调谐控制等。并对加载不同频率电源的PECVD反应室进行了仿真,一方面基于ANSYS软件的电磁场模块,对低频电磁场进行谐态电路有限元分析,得到反应室内电磁场分布;另一方面基于Ansoft HFSS对高频电磁场进行本征模态分析,得到各阶模态和频率。通过实际应用验证了该方案可靠有效。

摘要：目的:探讨醋炙火候对甘遂毒性的影响。方法:将甘遂用醋浸润后,分别用文火和武火炒干,用改良蔻氏法测定甘遂及两种醋炙甘遂对小鼠的半数致死量;以半数致死量为依据设计不同剂量给药,观察其提取物对小鼠肝脏的毒性。结果:武火炮制品较文火对小鼠的肝脏毒性小。结论:醋炙火候对甘遂毒性有一定的影响,醋炙甘遂工艺中有必要明确对炮制火候的要求,以武火(280℃)10 min炒干为佳。

摘要：在美国，有线运营商为了提供日益差异化的服务，诸如提供高清电视信号、视频点播（VOD）和质量保证的数字联播服务，需要更多的带宽资源（达到平均750MHz或更高），因此触发了对HFC网络进行大幅度升级改造。

摘要：极性情感词是准确分析维吾尔文倾向性的基础资源。该文在前期构建的维吾尔语褒贬情感词典基础上进行网络情感词的自动扩展研究。首先分析维吾尔语情感表达的语言特征,总结了连词、程度副词与情感词的搭配规律,并基于此规律设计从情感语料库中获取候选情感词的算法,形成候选情感词库;最后再利用维吾尔语连词的特性,结合已创建的情感词典和维吾尔语反义词词典,以互联网作为超大规模语料库,设计基于搜索引擎的情感词极性判别算法,根据算法得分判别候选情感词的极性,再将其扩展到已构建的褒贬情感词库。实验结果表明,与扩展前的情感词库相比,使用互联网文本语料扩展后的情感词库后进行维吾尔语句子倾向性测评的准确率和召回率均有明显提高。

摘要：一、教材分析"世界的语言和宗教"一节是七年级《地理》(人教版·上册)第四章第二节的内容。通过前三章的学习,学生已经从宏观角度对世界有所了解。第四章正是在此基础上,认识有关世界上语言和宗教的特点,为下学期学习区域地理奠定基础。二、学情分析学习第四章时,学生已经有了较丰富的读图基础。所以,本节课的任务重点是培养学生的读图能力。