摘要：针对光纤移动式光开关的应用场景,进行负载下U型微电热驱动器输出位移性能提升的形状优化设计。将电热驱动器的热臂形状改进为阶梯型、贝塞尔曲线型和B样条曲线型,通过改变热臂形状改变了驱动器热臂上的温度分布,从而实现在驱动器不发生热失效的前提下,可以提高驱动器上加载的电压来提高驱动器的负载下输出位移性能。结果表明,改进后驱动器上的温度分布有了明显改善,驱动器负载下的输出位移性能得到有效提升。

摘要：利用微加工技术制作了压阻式硅微型加速度传感器,对制作的加速度传感器样品进行了动态测试,单臂梁结构的加速度传感器的灵敏度为1μV/gn,双臂梁结构加速度传感器的灵敏度为1.6μV/gn,结果与理论设计值基本吻合。

摘要：基于局部型四维参数的函数,采用克里金代理模型和遗传-粒子群(GA-PSO)优化算法,开展大位移U型电热驱动器优化设计研究.建立U型电热驱动器的多物理场仿真模型并进行实验验证.发现在不同电压下,电热驱动器仿真位移与实验位移曲线一致,从而保证克里金模型中样本数据来源的可靠性.搭建ANSYS和MATLAB联合自动仿真平台以解决克里金模型中样本数据的批量采集问题.基于该平台,采用简单随机抽样的方法,得到不同采样点下电热驱动器的位移,从而形成样本数据.根据样本数据建立克里金模型并基于该模型采用遗传-粒子群算法进行参数优化.研究结果表明,克里金模型能代替有限元模型准确预测驱动器的位移;控制驱动器形状的4个关键参数与位移成单调关系;经形状优化后,18 V电压下U型电热驱动器的位移提高35.2%.

摘要：该文依据引信安全系统设计准则,设计了一种引信用MEMS保险机构。通过分析该机构的工作原理和作用过程可知,该机构可以满足引信依据双环境信息解除保险的安全性设计要求。采用仿真软件CoventorWare对该MEMS机构进行了工艺模拟和仿真,给出该MEMS保险机构的UV-LIGA加工工艺过程。UV-LIGA加工工艺中分别采用2次微电铸过程,得到固连在基板上的运动机构。最后借助ANSYS对该保险机构的力学性能进行了有限元分析,分析结果表明,该机构能够在应力允许范围达到运动位移要求。

摘要：为研究采用UV-LIGA（Ultraviolet Lithography,Galvanoformung,Abformung）技术制作的多层电铸镍的机械可靠性,对其进行了抗冲击性能分析。利用冲击试验台及信号采集系统测试了UV-LIGA多层电铸镍的抗冲击性能。实验分析得到其累积失效概率-加速度峰值曲线近似拟合于韦布尔统计分布,韦布尔系数γ=7.6,参考加速度为21 300g。当加速度为12 000~18 000g时,可靠性相对较高;当加速度为12 000~18 000 g时,累计失效概率增加较快;当加速度大于24 000g时,可靠性下降迅速。利用扫描电子显微镜（SEM）观察了试样,得到其主要的失效形式有分层、断裂、塑性变形以及黏连等。初步分析了失效原因,并提出了相应的优化设计方法,为UV-LIGA多层结构的设计提供实验依据。

摘要：MEMS技术是未来提升武器性能最有发展前途的技术之一,引信MEMS安全与解除隔离(S&A)装置具有体积小、成本低,易于和引信起爆控制电路集成等优点,国内外对MEMS安全与起爆技术开展了深入的研究。针对引信MEMS S&A装置研究进展,在收集、分析国内外大量文献资料的基础上,总结了引信MEMS S&A装置发展现状及趋势。按照解除隔离的驱动力类型,将MEMS S&A装置划分为惯性力驱动、电热驱动、火药能量驱动三种类型。结合各类型典型装置的分析,分别总结了其技术特征,研判出MEMS S&A装置发展的三个趋势:硅基工艺制作MEMS S&A装置的结构以分层平行基板式,体积更小,更适于大规模生产;微火工品集成在MEMS S&A装置中一体化设计制造;MEMS S&A装置、含能材料设计与制作在一片或多片芯片上,并与微电子系统集成出片(状)上引信。

摘要：针对高冲击加速度测量 ,分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟 ;对等截面和变截面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算 ,结果都说明了采用变截面悬臂梁结构 ,灵敏度可提高近 30 % ;对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程为 1 0 0 0 0gn,有足够的抗过载能力 ,且横向灵敏度足够小 .

摘要：针对现有惯性开关阈值单一导致应用范围受限的问题,设计了平面万向双阈值MEMS惯性开关。该开关由弹簧质量块和两组弹性电极构成,采用周边弹簧支撑中心环形质量块的形式,低阈值弹性电极布置在环形质量块外部,高阈值弹性电极布置在环形质量块内部,两级阈值分别为450 g和900 g。仿真分析表明,方向差异引起的低阈值散布范围为-12%^-5%,高阈值散布范围为-23%^-12%;在幅值450 g、脉宽1ms载荷下敏感平面内最短接触时间70μs,在幅值900 g、脉宽1ms载荷下敏感平面内最短接触时间15μs。

摘要：针对原有微惯性接电开关载荷识别机构的设计中无法解释单次碰撞和特征参数影响的局限性,提出微惯性接电开关载荷识别机构设计中的能量分析法。该方法基于载荷识别机构的工作原理,通过不同类型载荷下碰撞的能量损失的差异来实现载荷识别,从开关系统的能量得失角度,即惯性力正功和碰撞动能损失两方面对开关对于发射载荷和勤务跌落载荷的识别能力进行分析。仿真验证结果表明,该方法可以更好地描述单次碰撞过程,并且在载荷识别机构的设计中可以作为辅助设计方法以得到设计参数的优选值。

摘要：在保证引信勤务安全性和正常发射可靠性前提下,为实现引信小型化而设计了一种新型无源双阈值高g值MEMS惯性开关,其主要包括能够识别两种典型加速度环境(载荷1∶15 000g-300μs,载荷2∶3000g-3ms)的环境识别模块M1和为后续电路可靠供电的通电模块M2。环境识别模块M1主要通过控制带有Z型齿的质量块与对应L型挡块之间的碰撞来确定质量块的运动位移,进而控制通电模块M2的工作情况。基于两种典型加速度环境对MEMS惯性开关进行了动力学仿真并优化,仿真结果表明所设计的开关在载荷1环境下保持断开,而在载荷2环境下可靠闭合。