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M OEMS光开关静电驱动的优化设计
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《光电子技术》2002年 第4期22卷 223-227页
作者：孙东明 董玮 郭文滨 刘彩霞 常惠明 张龙 纪平 徐宝琨 陈维友吉林大学集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区长春130023 
给出基于硅的微机械光开关的设计分析。优化设计了光开关结构 ,提出了一种降低扭臂式结构光开关驱动电压的方法。并根据不同结构 ,给出了静电驱动等方面的分析结果。
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