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多功能真空校准装置: 收藏
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引用; 《真空》2017年第2期54卷 48-51页; 作者：彭光东李民陈丽李宏宇干昱颋谢文绚上海卫星装备研究所上海200240 上海空间环境模拟与验证工程技术研究中心上海200240; 为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要,研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准,同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静...; 为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要,研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准,同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成,真空校准范围为1.33×10~5Pa^1×10^(-4)Pa,真空漏孔校准范围为5×10^(-5)~5×10^(-9)Pa·m^3/s,装置智能化水平高,操作简便,适合真空规管的批量校准。; 来源：详细信息评论

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