摘要：坐标测量机(CMM)是最常用的长度测量仪器,但在面对复杂结构工件的高精度测量时,配备单一接触式测头的坐标测量机往往无法完全满足测量需求。针对这种情况,本文研制了一种亚微米级的高精度复合式坐标测量机。该仪器集成接触式测头、影像测头和光谱共焦测头,充分利用每种测头各自的优势,实现复杂工件的快速高精度测量。本文介绍了高精度复合式坐标测量机测量精度影响因素的处理方法,完成了测量机的机械结构设计,进行了几何误差和热误差补偿,对测量机3种测头进行了独立标定及融合标定。精度验证测试结果表明,所研制的复合式坐标测量机测量精度可达到亚微米级水平。

摘要：为实现轴对称非球面反射镜轮廓的高精度、可溯源测量,建立了非球面测量轨迹的数学模型,提出了一种基于独立计量回路的非接触式坐标扫描测量方法。该方法采用分离式计量框架结构,有效减少了跟踪扫描模块运动对测量精度的影响;测头采用集成阵列式波片的四象限干涉测量系统,保证测头精度的同时更有利于实现复杂面形轮廓的跟踪扫描运动;设计扫描执行机构与多路激光干涉系统共基准的运动模块,实时跟踪扫描运动机构的位置信息,提高测头空间定位精度并使其测量值能溯源到“米”定义。搭建测量装置测试该方法的准确测量精度,试验结果表明,测量误差小于0.2μm,重复性精度为70 nm,测量精度达到亚微米级。

摘要：为了检验对激光干涉仪测量精度有很大影响的空气折射率测量系统的测试性能，提出一种可用于基于Edlen公式的空气折射率测量系统的校准方法，并且设计了专门的校准装置，该装置主要由温度、气压以及湿度测量系统组成。实验证明：取包含因子％=2时，温度在（5—40）℃区间，测量不确定度u优于0．02℃；气压在（66～105）kPa区间，U=18Pa；湿度在（10—90）％RH区间，U=2．0％RH，等效于整个系统对应的空气折射率测量的相对不确定度优于1×10^-7。

摘要：本文介绍了一种以面阵CCD成像技术作为测试方法的汽车前照灯检测仪校准器检定系统。此系统采用多维精密可调工作台 ,利用计算机数字图像处理技术及VC + +编程实现自动测量被测校准器的发光强度、远光光束中心、近光明暗截止线转角坐标以及光轴偏移角等特征参数的目的。其优点是测量精度高 ,重复性好 。