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应用于硅基等离子天线的横向PIN二极管的研究: 收藏
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引用; 《半导体光电》2015年第1期36卷 7-11,51页; 作者：刘会刚梁达廖沁悦张时雨陈晨孙菁任立儒耿卫东张德贤南开大学电子信息与光学工程学院天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室天津300071; 介绍了横向PIN二极管及其在硅基等离子天线方面的应用,用一维理论分析了载流子大注入情况下横向PIN二极管本征区载流子浓度分布。对横向PIN二极管进行了物理建模,仿真分析了本征区长度、二氧化硅埋层、电极长度、结区掺杂浓度及表面电...; 介绍了横向PIN二极管及其在硅基等离子天线方面的应用,用一维理论分析了载流子大注入情况下横向PIN二极管本征区载流子浓度分布。对横向PIN二极管进行了物理建模,仿真分析了本征区长度、二氧化硅埋层、电极长度、结区掺杂浓度及表面电荷对横向PIN二极管本征区载流子浓度的影响,总结了横向PIN二极管的一般设计规则。; 来源：详细信息评论

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