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用于GaN生长的生产型MOCVD设备控制系统设计: 收藏
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引用; 《电子工业专用设备》2005年第6期34卷 14-17页; 作者：宋玲李学文廖炼斌刘亚红杨基南中国电子科技集团公司第四十八研究所湖南长沙410111; MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视。MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高。主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2″×6)设备控制系统的组成...; MOCVD法外延生长GaN基材料作为新世纪的核心技术之一受到全世界的高度重视。MOCVD技术涉及面广,控制对象复杂,且对控制对象的精度、重复性、可靠性要求较高。主要介绍了用于GaN基材料生长的生产型MOCVD(2″×6)设备控制系统的组成与特点。设备运行一年来的结果表明,该系统可靠性高、抗干扰性好、运行效果良好。; 来源：详细信息评论

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