摘要：综述了不同膜系设计中特殊的建立评价函数的方法。阐明在用计算机进行自动膜系设计过程中 ,如何确定哪些指标参与薄膜性能的评价 ,用什么方式构成评价函数。

摘要：采用单纯形调优法对多层光学膜系进行了优化设计 ,并开发了相应的优化设计程序。用该优化程序已经成功地设计出了可见光区高增透膜系。与其他光学薄膜自动设计方法得到的结果相比 ,在膜系层数相同甚至更少的情况下 ,用该方法可以得到很好的优化效果 。

摘要：用电子束反应蒸发法制备了TiO2薄膜,以折射率和消光系数为主要性能指标,通过正交实验法确定了得到较优光学性能的工艺搭配。分析了基片温度、沉积速率和真空度对TiO2薄膜光学性能的影响。并通过所开发的膜系设计软件分析了在最佳工艺条件下制备的TiO2薄膜的透射率,用包络线法计算出了薄膜的折射率、厚度以及消光系数,与实测值有很小的差别,可以证明实测结果的正确性。