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聚焦离子束的图形产生和自动套准系统
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《微细加工技术》1997年 第3期 40-45页
作者：张恝恕 杜秉初 汪健如清华大学电子工程系北京100084 
本文详细介绍了新一代用于聚焦离子束的图形产生和自动套准系统。该系统设计的基点是充分考虑计算机运算速度极大的提高，使得原来必须靠硬件实现的功能，完全可以由软件来实现，而并不降低其执行速度。带来的好处是大大降低了硬件的规...
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