摘要：针对大气测量的气压计应用,根据接触电容式压力传感器的工作原理,优化设计了绝对压力传感器的圆形膜结构。通过有限元分析软件ANSYS进行了验证,最后讨论了这种结构的非线性度。

摘要：设计并制备了一个CMOS工艺兼容的温湿度传感器,讨论了感湿理论模型并用COVENTOR软件进行了模拟,给出了具体的结构参数及工艺制作步骤,最后对温湿度传感器进行了测量,对理论值和实际测量值做了比较并给出了分析结果.结果表明,传感器在25℃时的灵敏度为0.015pF/%RH,从15%RH～95%RH,电容实际变化量为1.23pF.

摘要：设计并制备了一个CMOS工艺兼容的集成湿度传感器，将湿度传感器与CMOS测量电路集成在同一芯片上．片上集成的湿度传感器为叉指电容式，感湿介质为聚酰亚胺，本文给出了相应的感湿模型-针对湿度传感器在全量程电容变化量较小的特点，本文采用开关电容电路作为片上微电容测量电路，讨论了电路的原理并给出了模拟结果．芯片采用3μm多晶硅栅标准CMOS工艺进行流水．测量结果表明，片上集成湿度传感器在5～35℃有较好的直流输出特性，并且长时间稳定性良好．