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考虑应变能密度的铜互连导线电迁移应力分析
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《力学季刊》2017年 第2期38卷 359-368页
作者:刘晴 徐凯宇上海大学上海市应用数学和力学研究所上海200072 上海大学理学院上海200444 
铜互连导线导电后会产生由热扩散主导的电迁移现象,而根据广泛使用的一维电迁移引起的回流模型和原子通量散度的概念,可得到传统的线性应力演化方程.通过在表面晶体材料的表面自由能中计入应变能密度的影响,推导出适合铜导线的非线性应...
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