摘要：本文介绍了美国霍尼韦尔公司SSED的基本情况;介绍了扩散硅力敏传感器Class41型的基本参数和制备工艺;还介绍了智能传感器ST3000的制备工艺及在设计、性能方面与Class41型传感器的比较;由此提出对发展我国扩散硅力敏传感器的看法。

摘要：基于ANSYS有限元软件和VB6.0开发了一套压力传感器计算机辅助设计软件。采用参数建模方法输入传感器的结构参数,自动完成建模、网格划分、加载以及求解,并保存节点坐标及相应的应力结果文件;输入敏感电阻的位置、阻值、条宽等参数,依据电阻变化与应力的关系,结合拉格朗日插值算法计算敏感电阻变化量;计算得到传感器的输出。同实测结果相比,满量程输出误差小于10%。

摘要：如何制作与生产适宜高温环境下应用的压力传感器，一直备受关注。在SIMOX技术SOI晶圆的基础上，设计了压力敏感芯片结构，并基于MEMS工艺制作了芯片。电桥采用1mA恒流源供电，在300℃下，满量程输出≥180mV，灵敏度为30-40mV/（***），非线性≤1‰FS，重复性≤1‰FS。与常温测试结果相比，300℃高温下，敏感芯片的静态性能没有明显差异。

摘要：传感器——能感受规定的被测量，并按照一定的规律转换成可用的输出信号的器件或装置。通常有敏感元件和转换元件组成。传感技术——研究传感器的材料、设计、工艺、性能和应用等的综合技术。压力测量是工业过程控制中3大重要测量参数之一．压力传感器在工业自动化仪表中尤显重要，这次本栏目向读者介绍的3种压力传感器产品：