摘要：微分干涉相衬显微测量术在生物医学、材料科学等领域中有广泛应用 ,其中偏振分光棱镜设计是关键技术之一。对应用于微分干涉相衬显微系统中的偏振分光棱镜 Nomarski棱镜的主要参数之间的关系进行分析 ,并做了设计计算 ,得出了一些有实用价值的结论 ,使 Nomarski棱镜的设计更简便 。

摘要：用相移干涉术测量物体表面形貌时 ,各种误差因素特别是相移器移相误差的影响使得表面形貌的测量偏离了实际值 ,甚至会产生形貌失真的现象。采用傅里叶分析的方法对相位提取算式作了理论分析 ,并根据特征多项式设计分析理论构造了新的、对移相误差不敏感的相位提取算式。经实验验证 ,该算法有效地提高了相移干涉仪测量表面形貌的Ra 值 ,重复测量精度达 5倍以上 。

摘要：微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套用于微装配的微操作系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析。

摘要：着重介绍原子力显微镜力传感器的要求和力传感器设计的有关问题，并提供一种用图表设计结构尺寸的方法。

摘要：微器件装配技术是微机械的关键技术之一，本文从微器件装配系统的特性和功能出发，提出了一套微装配系统设计方案，并对系统各个组成部分进行分析，介绍了系统实现的方法。

摘要：介绍了改进型 Wollaston棱镜的特点、主要参数及基于这些参数对光学系统结构的设计公式。应用 Matlab软件自编程序对分束角ε与棱镜楔角γ和光轴倾角δ之间 ,相干平面倾角η与棱镜楔角γ和光轴倾角δ之间的关系进行了计算并对结果做了分析 ,得出一些有实用价值的结论 ,克服了 Wollaston棱镜使用上的局限 。

摘要：微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本文介绍了它的原理及设计中有关问题。实验结果表明:测量精密度≤±0.005μm,仪器精度σ≤±0.02μm,台阶测量精度<2.5nm。

摘要：介绍了显微干涉系统测量微细图形台阶高度的方法。从理论和设计角度分析了干涉条纹形状、间隔、对比度及稳定性，对该系统进行了实验，实验结果表明，对比度Ｋ＞０．８，测量精度优于８ｎｍ。

摘要：介绍了ＤＭＹ－１型膜厚测量仪的原理与设计，给出了不同情况下膜层厚度测量公式，并对该仪器进行了实验，该仪器的测量精度：对于较薄膜为±２ｎｍ，对一般膜层为被测厚度的±２％～±５％。

摘要：应用有限元法对原子力显微镜（ＡＦＭ）力传感器进行了力学分析，并计算了它的固有频率和力弹性常数。在此基础上，对力传感器基于减小应力和应力集中的原则提出了一种优化结构，并得出了可以作为力传感器设计的依据和原则。