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面向曲面应变监测的SAW应变传感单元的设计: 收藏
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引用; 《机电工程技术》2024年第1期53卷 91-94页; 作者：陈睿张勇斌肖鸿洋王君杨徐静宁中国工程物理研究院机械制造工艺研究所四川绵阳621000; 高端装备的内部性能参数,如应变等的实时监测,对评估装备在各状态、各阶段的性能变化尤为重要。基于高端装备的应变无源无线监测需求,根据待测表面的曲面特性,设计了面向曲面应变传感的SAW传感芯片,并通过有限元方法对设计参数进行了仿...; 高端装备的内部性能参数,如应变等的实时监测,对评估装备在各状态、各阶段的性能变化尤为重要。基于高端装备的应变无源无线监测需求,根据待测表面的曲面特性,设计了面向曲面应变传感的SAW传感芯片,并通过有限元方法对设计参数进行了仿真分析和优化设计,采用特殊结构设计以增加曲面应变监测效果及提升应变芯片灵敏度。采用MEMS加工方法制作了应变芯片样品,并使用矢量网络分析仪测量了芯片的工作频率。测试结果表明,所设计的应变传感芯片中心频率与仿真结果接近。最后搭建应变测试平台进行实验研究,结果表明,所设计的应变芯片灵敏度达到1500 Hz/με,并且在模拟曲面构建应用场景的实验装置中表现出良好的适用性,上述研究为SAW器件在曲面构件应变监测上的应用提供了参考。; 来源：详细信息评论

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