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用于红外焦平面阵列的等效像元电路设计: 收藏
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引用; 《激光与红外》2015年第2期45卷 171-175页; 作者：戴山彪陈力颖邢海英王健杨晓龙天津工业大学电子与信息工程学院天津300387; 提出了一种用于300×400红外焦平面阵列读出电路的等效像元电路结构。该电路与氧化钒（VOx薄膜）制成的微机械系统（MEMS）的电特性等效,并能够模拟MEMS像元改变时支路电流的变化。红外面阵探测器读出电路在流片后,生长MEMS物理结构...; 提出了一种用于300×400红外焦平面阵列读出电路的等效像元电路结构。该电路与氧化钒（VOx薄膜）制成的微机械系统（MEMS）的电特性等效,并能够模拟MEMS像元改变时支路电流的变化。红外面阵探测器读出电路在流片后,生长MEMS物理结构（VOx薄膜）前,该等效像元电路结构用于读出电路的电性能测试,从而剔除不良品,减少封装成本。该电路采用了Global Foundry 0.35μm工艺设计并流片。测试结果表明,当积分电流为0-200nA时,该等效像元电路的电性能与MEMS像元一致。; 来源：详细信息评论

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