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硅棒磨抛一体机的设计与应用
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《机械研究与应用》2020年 第2期33卷 104-106页
作者:李林 戴鑫辉 段景波 赵晓 徐公志 乔石青岛高测科技股份有限公司山东青岛266114 
根据光伏行业硅棒加工需求,设计了一台集硅棒磨削、抛光、倒角等功能于一体的硅棒磨抛一体机。介绍了硅棒磨抛精度要求和机床总体设计方案,针对机床的上下料组件、进给滑台、对中机构、磨削组件等关键部件做了结构和功能介绍,并介绍了...
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全自动硅棒滚圆开槽一体机的设计与应用
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《机械工程与自动化》2020年 第4期 104-106页
作者:戴鑫辉 李林 段景波 乔石 徐公志 赵晓青岛高测科技股份有限公司山东青岛266114 
根据半导体行业硅棒加工需求,设计了一台集硅棒滚圆、晶向检测、开槽等功能于一体的全自动硅棒滚圆开槽一体机,可加工6"、8"和12"半导体硅棒。介绍了半导体硅棒的加工精度要求和硅棒滚圆开槽一体机的总体设计方案,针对...
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